Delphi - F2084 Internal Error

Estou tendo este erro ao copilar o meu projeto em delphi:



Já realizei testes em diferentes versões do Delphi e em diferentes computadores, ambos dão este mesmo erro ao compilar meu projeto. Se eu der um clean ele volta a compilar novamente, mais se eu mudar qualquer coisa em meu código, o erro volta a aparecer.